2023年以降、ニコン以外でもAdvanced Package向けのデジタル露光装置の開発が活発になっており、今回のニコンの発表もその流れにある。さらにウェーハプロセス装置のトップ企業であるApplied Materials(AMAT）も協業の形で加わるなど新しい動きが出てきた。
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2024/10/30 12:42
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