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2018年5月国内半導体製造装置生産 スパッタやCVDなど成膜装置順調な伸び

経済産業省による5月の国内半導体製造装置の統計値が確定した。それによると、国内半導体製造装置生産のうち成膜装置が着実に伸びている。5月の成膜装置の生産額は、過去最高を記録した。
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