日本の半導体製造装置生産は、国内における新型コロナウイルス感染拡大から政府が非常事態宣言を発令した4月も変わりなく伸びた。前工程の製造装置を中心に前年同月実績を2桁パーセントで上回った。また、ここに来て後工程の製造装置も伸びている。

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