高純度シリコンは、金属シリコンと塩素とを反応させて蒸留して純度の高い製品としたもの。
純度を示す時につく9（Ｎ）の数でグレードを示す。（例 99.9999％→6N）
集積回路の半導体素子などに使用するための単結晶超高純度（純度11N以上）のものは、半導体グレード (SEG) シリコンとよばれる。太陽電池などに使用するには多結晶で７N程度の純度でよく、太陽電池グレード (SOG) シリコンと呼ばれる。
日本では珪石からの精錬は行われず中間製品はすべて輸入である。このうち4N以上の高純度Siの輸入はSEGとSOGを含めて2009年で18千ｔ、アメリカ、ドイツ、韓国からが多い。一方で、4N未満のSiの輸入量は147千tで80％以上は中国からであり、うち15千tを4N以上の高純度Siとして国内で精製している。