JX金属は28日、先端半導体の配線形成に用いられる半導体用スパッタリングターゲットのリサイクルを推進するため、グループのＪＸ金属コイルセンター館林事業所（群馬県館林市）や那須事業所（栃木県那須塩原市）に、新たなリサイクル設備を導入すると発表した。限りある金属資源の有効活用とサプライチェーン全体における環境負荷の低減を推進するとともに、安定供給体制の一層の強化を目指す。
同社グループの半導体用スパッタリングターゲットは、AIの進展を支える最先端ロジック半導体やメモリ半導体の製造に幅広く使用されている。また最先端半導体の微細配線形成に不可欠な銅やタンタルをはじめ、チタン、タングステン、コバルトなど、多様な金属材料を用いたスパッタリングターゲットを供給しており、これらいずれの製品においても世界トップクラスのシェアを有している。
（IRuniverse K.Kuribara）
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