半導体デバイスに通電することで、正常に動作するかどうかを試験する装置。ATE（Automated Test Equipment　) とも呼ばれる。検査対象( DUT, Device Under Test)の集積回路設計時に作成したテストパターンをもとに、入力信号を生成し出力信号を比較する。

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