AGC(5201)　EUV マスクブランクス能力を再び倍増へ

2022/01/27 10:04

会社は1月25日に、AGCエレクトロニクスがEUV露光用フォトマスクブランクス(以下、EUVマスクブランクス)の生産能力を23年1月にも現在の2倍へ増強し、24年に向けて段階的に増強を行う計画であることを公表した。20年7月に発表していた能力増強計画(20年10月着工) が完成し、22年1月から稼働を開始した

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