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日本イットリウム、半導体製造装置向け保護材料の生産体制増強

2018.03.12 16:30
3月7日三井金属は、同社とトーキンの子会社の日本イットリウムが、半導体製造装置向けの保護材料として、イットリウム化合物の生産能力増強を決定した。
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