Fig1は半導体(Integrated Circuit IC)製造の標準的な製造フローをあらわしたものである。昨年来、日本の半導体ビジネスの再生についての議論が活発である。特に、台湾のTSMC（Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd ）の日本での生産誘致は大きな話題となった。TSMCについてはのちに章を改めて考察するが、生産ラインは基本的な考え方は変わらない。今回は半導体製造のマテリアル、すなわちシリコンウエアハ、各種ガス、洗浄、生産ジグ等について考察してみたい。

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