半導体製造装置の日本国内生産は、半導体需要の一時的な減速に伴い生産台数において大きく減らしている。ただ、高性能の半導体製造装置の需要が根強く、1台あたりの単価を上げており、生産額では、引き続き昨年並みの水準を維持している。

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