早川 崇氏
タイトル：「半導体製造装置メーカーの多角化・多様化する技術開発に関する取組み」
早川 崇氏 プロフィール：
東京エレクトロン株式会社 技術マーケティング部 部長
【略 歴】
米系変導体メーカーにて装置エンジニア、プロセスエンジニア業務を経て、1998年より東京エレクトロン（TEL）にて半導体製造装置の開発、プロセス開発に従事。その後、開発・マーケティングメンバとしてエッチング装置、枚葉成膜装置などの製品企画、また、自社複数製品に跨るモジュール開発を牽引。現在は、先端デバイスメーカーとの開発初期からの協業、新製品企画・開発、Open Innovationの推進、産総研、国内外の大学との連携を担務。
【講演要旨】
最先端半導体デバイスでは、新材料、新構造の導入により微細化（ムーアの法則）を実現してきました。半導体産業はAI・データドリブンな未来社会を構成するために重要な位置を占めています。東京エレクトロンを取り巻く環境、継続するムーアの法則、その実現に向けて多角化・多様化した装置技術・プロセス技術への開発動向を発表いたします。
9月1日（金）第1回 SEMICON（半導体）サミット at TOKYO
