半導体材料＃9 半導体ファブ ガス
2023/05/18 09:13
電子材料ガスは、半導体や液晶、太陽電池など様々なエレクトロニクス製品を製造する際に使用する特殊な高純度ガスである。大別すると、半導体の配線などを形成する材料ガスと、エッチング（半導体の微細加工などを行う工程）や製造装置のクリーニングなどに使用するプロセス用のガスがある。
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