半導体材料＃10 半導体向け材料メーカー洗浄工程とCMP
2023/05/26 09:23
半導体前工程では様々な材料、ガス等を使用することはすでに述べた。シリコンウエハ鏡面加工したあと以下のような工程で種々のガスや化学材料を使用する。
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