Ⅰ　SiCウエハ工程 　現在先進国を中心として、消費電力の低減、効率改善の取り組みは急ピッチで進められている。材料でみた場合、産業インフラや自動車の駆動回路ではシリコン系パワー半導体からSiCパワー半導体へ置き換える動きが進んでいることはすでに述べた。SiC半導体製造のフローを見た場合、上流のSiC Wafer製造とパワー半導体ファブ生産に分けられる。

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