Advanced Package向け露光装置の開発競争が活発化#１ ニコンがマスクレスデジタル露光装置開発を発表
2024/10/30 12:40
Advanced Package製造では、パッケージの大型化、構造の複雑化が進むため露光装置でも微細化、大露光面積化への取り組みが求められている。このため、ステッパやダイレクトイメージングといった従来の装置に代わる新しい装置としてデジタル露光装置が注目されている。まずニコンの装置開発についてまとめる。
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