Advanced Package向け露光装置の開発競争が活発化#１ニコンがマスクレスデジタル露光装置開発を発表

2024/10/30 12:40

文字サイズ

小中大

　Advanced Package製造では、パッケージの大型化、構造の複雑化が進むため露光装置でも微細化、大露光面積化への取り組みが求められている。このため、ステッパやダイレクトイメージングといった従来の装置に代わる新しい装置としてデジタル露光装置が注目されている。まずニコンの装置開発についてまとめる。

この記事は会員限定です。お申込み確定後に続きをお読みいただけます。

今すぐ会員登録する

ログインする

関連記事

はんだ輸出入レポート#29輸入編　2026年1-5月輸入量3年連続減少

2026/07/17 統計

タンタル・キャパシタ輸出入Report #104輸入　2026年　輸入平均単価急騰中

2026/07/17 統計

FPD製造装置輸出Report #21　2026年前半　輸出伸び鈍化から減速へ

2026/07/17 統計

半導体製造装置輸出Report #104シリコンウェハ製造装置　2026年前半中国向け輸出激減

2026/07/17 統計

産業用ロボット輸出Report#91　2026年5月　17か月ぶり輸出額減　前年同月実績下回る

2026/07/16 統計

電子部品輸出入Report#150金属製磁石輸出　2026年フィリピン向け輸出増加

2026/07/16 統計

電子部品輸出Report#149小型直流モータ　輸出平均単価上昇傾向続く

2026/07/16 統計

電子部品輸出Report#148インダクタ　2026年中盤　輸出緩やかな増加

2026/07/16 統計

【特別対談】解体(ベステラ吉野会長)✖️スクラップビジネス(錦麒産業斉社長)の最前線：事業投資の要諦と半導体工場解体に眠る「真の価値」

2026/07/16 PRO インタビュー

AI時代に再評価されるCPU――GPU一強から異種計算時代へ

2026/07/16 業界動向

記事一覧へ

新着記事

２０２６年５月　アルミUBC輸出統計分析数量減速もFOB最高圏――韓国依存構造に変化な

はんだ輸出入レポート#29輸入編　2026年1-5月輸入量3年連続減少

タンタル・キャパシタ輸出入Report #104輸入　2026年　輸入平均単価急騰中

FPD製造装置輸出Report #21　2026年前半　輸出伸び鈍化から減速へ

半導体製造装置輸出Report #104シリコンウェハ製造装置　2026年前半中国向け輸出激減

二次電池輸出入Report #223鉛蓄電池輸入 2026年中盤　輸入一転減少へ

「100億企業」へ挑むタカミ新規事業とデジタル活用で描く次の成長戦略

MARKET TALK　現地７月１６日全面高、中東情勢の不透明感や買い戻しから

精密乾留法が切り拓くCFRP水平リサイクルの新天地―富士加飾が進める「アップサイクル」への挑戦

元鉄鋼マンのつぶやき＃180　これからのチタン　その２

ランキング

3日間 1週間 1ヶ月 1年

【特別対談】解体(ベステラ吉野会長)✖️スクラップビジネス(錦麒産業斉社長)の最前線：事業投資の要諦と半導体工場解体に眠る「真の価値」

大同特殊鋼×ニッパツ：重希土類フリーと「資源循環」を両立する次世代ローターの衝撃――テクノフロンティア2026

2026/07/16 FREE

AI時代に再評価されるCPU――GPU一強から異種計算時代へ

シナノケンシ（ASPINA）脱中国、レアアースフリーの次世代モータ開発を加速――テクノフロンティア2026

2026/07/16 FREE

アンチモン輸入Report#39塊粉　2026年前半ミャンマー　ベトナム　タイからの輸入で支える

アンチモン輸入Report#38酸化物　2026年前半ベルギーと韓国が支える　輸入平均単価も半額に下落

【ニュース解説】ASPINA、米Niron社とレアアースフリー磁石搭載モーターの量産化へ協業〜脱・特定国依存と次世代サプライチェーンの構築〜

2026/07/15 FREE

集積回路輸出Report #124　DRAM輸出　2026年前半急増　中国向け注目

鉄鋼・非鉄関連会社の決算発表予定日一覧（最終版）

ビスマス輸入Report#15　2026年中盤に入っても輸入量伸びず