Imecは、光リソグラフィーを使用してφ300 Silicon Photonics Wafer上の Nano Photonics Componentを実証（Imecはベルギーの産学共同ファンドリー最先端のEUV露光装置を保有している。）
Imecは、φ300mmシリコン
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2021/06/21 09:46
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