三菱ガス化学株式会社(本社:東京都千代田区、社長:藤井 政志)は、4月10日、半導体の製造工程で使用される超純過酸化水素(以下、超純過水)ならびに超純アンモニア水 (以下、超純安水)の製造・販売を行う連結子会社、MGC Pure Chemicals America, Inc. (本社:米国アリゾナ州、以下、MPCA)のテキサス工場を増設すると発表した。
同社グループは、国内外に超純過水と超純安水製造設備を構え、半導体造工程において使用される機能性薬液も事業展開しており、いずれも高い支持を受けている。
超純過水・超純安水は、主に半導体のウエハーやデバイスの製造工程で、洗浄剤・エッチ ング剤・研磨剤として使用されるが、半導体の微細化に伴い、より高品質な薬液要求が高まっている。また、5G、IoT、クラウド、AI、車載等での用途拡大により、半導体市場は長期にわたり世界的に成長していくものと予想される。
こうした背景から、北米で最大供給能力を持つ MPCA に対し、最先端の工場建設を進める大手顧客向けの需要が拡大しており、供給リスクの軽減、および高品質な製品の安定供給が、ますます求められている。
MPCA は、今回のテキサス工場の増強に先行し、オレゴン工場の増強を進めている。
1)MPCA の概要
設立年:1995 年
資本金:137 百万 US$ 本社工場所在地:米国アリゾナ州メサ市 現有能力:超純過酸化水素 140,000 トン/年(31%濃度換算)
超純アンモニア水 8,400 トン/年(29%濃度換算) 従業員数:185 名(2024 年 1 月 1 日現在)
2)増設計画の概要
◆拠点名:MPCA テキサス工場(米国テキサス州キリーン)
生産能力(増設分):超純過水 35,000 トン/年 超純安水 5,000トン/年
スケジュール:2025 年 6 月生産開始予定
◆拠点名:MPCA オレゴン工場(米国オレゴン州フォレストグローブ) 生産能力(増設分):超純過水 35,000 トン/年
スケジュール:2024 年 9 月生産開始予定
（IR universe rr）
