大同特殊鋼は17日、半導体製造装置などに使用される高耐食材料として、「DSA D22」を新たに開発したと発表した。同合金は高い耐ガス腐食性を備え、併せて切削加工もしやすいニッケル（Ni）基耐食合金になる。半導体製造装置・部品メーカー各社が直面する「高耐食材料の採用拡大」と「部品コストの低減」を両立できると、同社では説明している。
DSA D22は同社のCLEANSTARやDSALOY22と同様、腐食性のガスが使用される各種前工程装置全般の接ガス金属部品への適用を見込んでいるという。具体的には、エッチング装置や成膜装置などのガス供給ライン、バルブボディ、フィルターハウジング、継手やマスフローコントローラーなどである。現在特許を出願中という。
AI向けなど微細加工が求められる先端半導体が普及する中、その製造工程でも微細な異物の混入が品質や歩留まりに直結するため、部品素材にもその対応が求められている。ただ、高い耐ガス腐食性と加工性はトレードオフの関係にあるという。
同社では2024年12月から、半導体製造装置向けの高級鋼の増産を目的に知多第2工場（愛知県知多市）で真空アーク再溶解炉（VAR）の増設を段階的に進め、高清浄ステンレス鋼やNi基合金の生産能力を増強してきている。今後さらに、同合金を含む半導体製造装置向け高耐食材料の生産体制の強化を進め、拡大する先端半導体市場のニーズに応えていくとしている。
