日本国内の半導体製造装置生産は、2022年1-5月の累計生産額が1兆円を超えた。過去最高だった昨年より3割増えている。特にシリコンウェハ上に配線を形成する前工程の製造装置が伸びている。昨年伸びた後工程の製造装置については、昨年並みに落ち着いてきた。

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