産業用ガス大手のエア・ウォーター（大阪市中央区）は２６日、最先端半導体の国産化を目指すRapidus（ラピダス、東京都千代田区）が北海道千歳市に建設する半導体工場向けに、「CMPスラリー調合・供給システム」を受注した、と発表した。

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