半導体材料＃7 フォトレジストメーカー
2023/05/01 10:57
Fig1は世界の半導体ファブシリコンウエハの月産生産枚数とフォトレジストの種類を表したものである。波長の種類としてはi線、KrF, ArF、EUVに分けている。ｇ線については対象外とした。
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