日本の半導体製造装置の生産は、前工程、後工程に加えてウェハ製造装置も生産額が伸びている。生産台数は伸びないが、半導体メーカが付加価値の高い装置への切替を進めており、2024年は装置の平均単価が大きく伸びているためである。ウェハ製造装置は、過去最高の年間生産額だった昨年の記録を2年連続で更新した。

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