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国内半導体製造装置生産Report #87 2026年1-3月前工程生産額も昨年を上回る

2026/05/25 12:19
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日本の半導体製造装置の生産は、2026年1-3月の生産額が昨年よりも9%増加した。比較的伸びているのは後工程の半導体製造装置である。前工程の半導体製造装置は、年度末の駆け込み出荷で、なんとか昨年の同時期よりも2%増加となった。
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