半導体微細化最先端動向 EUV量産に向けて :セミコンジャパン2017
2017/12/18 08:29
露光技術による半導体微細化の最終兵器と言われているEUVだが、実用化に向けて様々な課題を抱えていた。EUVの最新動向について、露光装置メーカーと光源の部品メーカー、レジスト材料メーカーの報告から、ようやくEUV量産実用化の段階に入れそうだ。
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