センサシリーズ #26 自動車用MEMSセンサー
2022/12/01 09:46
MEMSは、高度な半導体製造技術を応用した機械加工の一つである。微細加工技術によって、単一のシリコン基板上に機械素子、センサ、電子部品を集積する技術である。その技術は、さまざまな自動車で使用されてきた感知装置に置きかわっている。
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