Advanced Package向け露光装置の開発競争が活発化#2 AMATとの協業も含めて従来装置企業もデジタル露光装置に注力
2024/10/30 12:42
2023年以降、ニコン以外でもAdvanced Package向けのデジタル露光装置の開発が活発になっており、今回のニコンの発表もその流れにある。さらにウェーハプロセス装置のトップ企業であるApplied Materials(AMAT）も協業の形で加わるなど新しい動きが出てきた。
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