日本国内の半導体製造装置生産は、あまり報じられていないが、昨年後半、急速に減少した。その結果、最終的に昨年の生産額は、前年比7%増加に留まった。しかし、その後退も一時的で昨年末に戻し、今年1月は再び前年同月実績を上回るまでに回復した。

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