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国内半導体製造装置生産Report #28 2021年1-6月累計生産額、過去最高の9千億円

日本国内の半導体製造装置生産は、今年1-6月、半年間の生産額が初めて9千億円台に到達した。今年5月、露光・エッチング装置の生産が大きく落ち込んだが、6月その反動も加わり、単月生産額として過去三番目の高い値となった。装置の多くは中国へ渡っている。
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