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国内半導体製造装置生産Report #36 2021年間生産額初の2兆円超え

2021年、日本国内の半導体製造装置生産は、年末12月まで伸び続けた。その結果、年間生産額が初めて2兆円を超えた。露光・エッチング、薄膜形成、CMP・洗浄などの前工程製造装置の生産がそれぞれ大きく伸びた。また後工程も2007年以来の生産額となった。
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