住友化学は７日、高純度アルミナの新製品として、低α線量の高純度微粒球状アルミナ「ELAシリーズ」を上市すると発表した。無機材料分野のイノベーションを加速し、高純度アルミナ事業における先端半導体関連分野への展開を一層強化する考えだ。
「ELAシリーズ」は、放射線量が極めて低いことに加え、高い放熱特性を兼ね備えている点が特長。これらの特性は、AIなどの高い信頼性が求められる用途において特に適しているという。また、顧客の要望に応じて、粒子サイズを数μm以下に精緻に制御できるほか、表面状態についても用途に応じたカスタマイズが可能となっている。
また、住友化学は、先端半導体の製造プロセスの高度化に伴い要求が高まるセラミックス装置部材やプロセス材料向けにも、高純度アルミナ製品のラインアップ拡充を進めている。先に上市した超微粒アルミナ「NXAシリーズ」については、その高い性能ポテンシャルの活用に向けて顧客と共に検討を進めており、これらの用途での大幅な性能向上が確認されている。
（IRuniverse K.Kuribara）
